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溅射薄膜压力传感器
概述
CYT - 1 0 3系列溅射薄膜压力变送器核心部件采用英国圣斯特公司(Senstronics)的离子束溅射薄膜压力敏感芯体，使用本公司的离子束焊接技术，将O E M溅射薄膜压力敏感芯体与不锈钢外壳焊接为一体。溅射薄膜敏感芯片上的惠斯登电桥以分子形式直接淀积在不锈钢弹性体上，形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料薄膜，并与弹性不锈钢膜片融合为一体。再经过光刻、调阻，温度补偿等工序，在弹性不锈钢膜片表面上形成牢固而稳定的惠斯登电桥。该压力变送器设计简洁、精度高、体积小。经过本公司高性的放大电路和精细的外部补偿，可实现对压力数据的准确测量。
溅射薄膜压力传感器主要性能指标：
量程范围：0～300MPa
压力方式：表压
供电电源：12VDC～36VDC (标准为24 VDC)
输出信号：4～20mA、1～5 V、0～5 V、0～1 0 V
溅射薄膜压力传感器精度等级：±0.5%FS、±0.2%FS、±0.1%FS
温度漂移：0.01%FS/℃
零点漂移：0.01%FS/℃
长期稳定：性0.03%FS/年
补偿温度：-20～ 70℃
介质温度：-40～ 85℃/125℃/150℃/200℃/300℃ (定制)
环境温度：-40～85℃
溅射薄膜压力传感器过载能力：150%
使用寿命：＞1×1 0 次压力循环( 2 5℃)
负载电阻：R =（U-12.5）/0.02- R D 其中: U为电源电压, R D 为电缆内阻
响应时间：≤1 (10%～90%)ms
测量介质：与3 1 6 L兼容的所有非腐蚀性或腐蚀性介质
壳体材料：1 C r 1 8 N i 9 T i
连接方式:M20×1.5或用户自定
引线方式:航空插头、霍斯曼插头、直接引线
防爆等级:ExiaⅡCT6 （可选）
溅射薄膜压力传感器特点
高温、高压，高精度、高稳定性，抗振动、抗冲击
应用领域
该溅射薄膜压力传感器适用于航空、航天、国防、 、石油、化工、冶金、电力、液压各种冲击压力的测量中高压水泵油泵压力及中高压气体压力的测量、船舶、柴油机行业、泥浆泵压力测控系统、振动环境中的各种压力测量.
